金融界2025年1月20日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司获得一项名为“一种晶圆载台、伪片腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN 222355066 U，请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现，本请求公开了一种晶圆载台、伪片腔室及半导体工艺设备，晶圆载台包含至少两个盘绕预设圆设置的承载组织，用于从晶圆的边际对晶圆构成支撑；以预设圆的圆心为参阅，每个承载组织包含：榜首固定座，接近圆心的一端设置有榜首支撑部；第二固定座，接近圆心的一端设置有第二支撑部，远离圆心的一端可滚动地与榜首固定座接近圆心的一端衔接；当第二固定座向远离圆心的一侧滚动至榜首方针方位时，榜首支撑部用于承载榜首尺度的晶圆；当第二固定座向接近圆心的一侧滚动至第二方针方位时第二支撑部用于承载第二尺度的晶圆本请求能轻松完成对不一样的尺度的晶圆的兼容支撑；并且在切换时，不需要更改支撑结构和不要从头调试设备，结构相对比较简单，成本低。

  天眼查资料显现，北京北方华创微电子配备有限公司，成立于2001年，坐落北京市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册本钱114153.708311万人民币，实缴本钱114153.708311万人民币。经过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子配备有限公司共对外出资了8家企业，参加招投标项目993次，知识产权方面有商标信息33条，专利信息5000条，此外企业还具有行政许可339个。

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